アクティブレイ・サイエンティフィック株式会社
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更新日 2017-11-04 | 作成日 2007-12-14

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ドイツLaser-Laboratorium Goettingen社製レーザー ビーム プロファイラーと解析システム

Foto von Wellenfrontsensor_copy 90.jpg

主なハードウェア特徴

■ レーザー ビーム プロファイラー

MrBeam_Screenshot 90.jpgBeam Profiles_near-field and far-field 90.jpgBeam Profiles_application_II 90.jpg

 - CCDカメラまたはCMOSカメラ
 - 350-1100nmの波長帯域をカバー
 - オプションにより以下の2つの波長帯域も選択可能
  ・190-1100nm (UV Version)
  ・1-1100nm (XUV/EUV Version)
 - カメラはUSBポートを経由して接続、外部電源は不要
 - マニュアルまたは自動セッティングにより、露光時間を 50μs-5sに連続可変

■ ウェーブフロント アナライザー(波面解析, Hartmann-Shack (ISO 15367))

Hartmann-Shack_Ubersicht-90.jpgHS_Gradientendarstellung+Wellenfront 90.jpg

 - Hartmann-Shack定理により、レーザービームをマイクロレンズ・アレイによりCCDチップにイメージ化
 - 12ビットCCDカメラ
 - 350-1100nmの波長帯域をカバー
 - オプションにより以下の2つの波長帯域も選択可能
  ・190-1100nm (UV Version)
  ・1-1100nm (XUV/EUV Version)
 - 波面計測に最適化された、高品質マイクロレンズ・アレイ
 - ビームプロファイルおよび波面診断ソフトウェア(Zernike analysis)
 - Wavefront sensitivity: λ/10 per subaperture (633nm)
 - Wavefront dynamic range: 5λ per subaperture, 150λ total
 - M2を含んだ、ビームパラメータ全てをリアルタイム計測
 - ビーム・プロパゲーション解析(Near field, Far field, Beam waist)

主なソフトウェア仕様

■ レーザービーム・プロファイラー ソフトウェア機能概要

 - Various recording modes: grab, averaging, floating average, 加算, パルス検知
 - ビーム・パラメーターのオンライン評価
 - beam width (2nd moment, moving slit(x,y)), centroid (ISO11146)
 - ellipticity, uniformity, edge steepness, irradiation area など (ISO 13694)
 - pointing stability (ISO 11670)
 - 絶対パルスエネルギー/レーザーパワー(キャリブレーション後)
 - profile-fit (Gaussian, super-Gaussian, top-hat etc.), ‘history’ function
  (deactivated overwrite mode) を含んだ cross-sections のリアルタイム表示/評価

■ ウェーブフロント・アナライザー(波面解析)

 - 記録されたspot distributionからの精度~λ/10[per subaperture]による
  高速ウェーブフロント・リコンストラクション(>1Hz)
 - 3Dプロット、一覧化された数値データとしての波面w(x,y)(=OPD, カメラ位置)をグラィカル表示
 - w(x,y)をtilt(x,y)およびdefocusするための自動補正(オプション)
 - 表示された波面からのリアルタイム・モード解析(Zernike および Legendre多項式)、
  Seidelアブレーション、subtraction(オプション)
 - ISO 15367に準拠した波面パラメータ (RMS wavefront deformation, wavefront irregularity (P-V))
 - 伝搬挙動の包括的な特性化:
   Fourierアルゴリズムによる任意のz位置のビームプロファイル計算、
   特定のfar-field およびwaist分布
 - 伝搬データ(絶対精度<5-10%)のリアルタイム計算および表示:
  ・ビーム伝搬比 M2(x, y)
  ・発散 θx, θy
  ・waist diameter (x,y)
  ・waist position (x,y)
  ・Rayleigh length (x,y)
  ・astigmatic waist separation
 - Hartmann-Shack subapertures上の積分によって得られた、
  カメラ位置でのnear field プロファイル(x,y)からのビームパラメータのオンライン評価:
   beam width (2nd moment (x,y)), centroid, ellipticity,
   uniformity, relative pulse energy, pointing stability など

カメラ仕様

Camera CCD 12 bit CCD 12 bit CMOS 10 bit
Chip 1/2" 2/3" 2/3"
Active area [mm2] 6.0 x 4.7 8.26 x 6.6 8.6 x 6.9
Pixels 1280 x 1024 1280 x 1024 1280 x 1024
Pixel size [mm] 4.65 6.45 6.7
Dynamics 60dB 72dB 56dB
Signal/Noise >500:1 800:1 500:1
Spectral range [μm] 320 - 1100 320 - 1100 320 - 1100

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